半導體真空泵廠家-廈門太星機電供應服務-龍巖半導體真空泵
廈門太星機電有限公司擁有十多年真空行業經驗和銷售及維修工程師團隊組成，公司提供國外及國內廠家生產的真空泵，檢漏儀，分子泵，擴散泵，水環真空泵，螺桿真空泵，羅茨泵，真空測量，真空泵油及其備品備件。
擴散泵在長期工作后性能會逐漸變壞，應定期檢查。如：泵油是否減少或氧化，按相應要求加油或更換處理；零件及泵腔先用航空清洗，然后用進行擦洗，并置于80-100攝氏度溫度下烘干或用電吹風吹干。處理完后，按順序進行裝配，保持泵芯與泵底垂直與泵腔同心，各級噴嘴間隙要按原要求調整好。
待水分揮發干以后裝好泵芯，加入新擴散泵油，并裝回機體，接好水管，裝好電爐盤，便可以重新開機。
在重新開機前，要注意檢漏工作。方法是：啟動維護泵，關好大門，數分鐘后，觀察真空度，同時檢查連接處是否漏裝密封膠圈，半導體真空泵廠家，或者壓壞密封圈。排除漏氣隱患后方可加熱，否則擴散泵油會燒壞，半導體真空泵維修，無法進入工作狀態。
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擴散泵的缺點是返油問題，加上擋油帽和冷阱及正確操作，其返油率可降到1×10-5mg/cm2min的地步。
油擴散泵致命的缺點就是泵油返流污染被抽系統。經過大量的研究，現代擴散泵由于增加了擋油帽、障板和冷阱等措施，使擴散泵的返油率降得很低。所有的油擴散泵都存在一定程度的返流現象。返流的氣體是少量殘余的碳氫化合物。返流有兩個不同性質的來源：泵油分子朝向擴散泵頂噴咀的上方運動構成泵的主要的返流。其次要的返流是被泵壁冷凝的泵油的遷移或再蒸發。利用好的鍋爐和噴咀設計，可使主要的返流降至低。在頂噴咀上方設置水冷擋油帽，它已成為頂噴咀的攔截返油的水冷裝置，由于不斷對冷帽結構的改進，使主要返流大大降低。
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擴散泵系統的壓強不穩定的原因，有內部和外部之分。泵外的原因有：①來自橡膠墊圈的氣泡；②從障板上滴落下的泵油；③高的前級耐壓；④阱除霜；⑤阱內冷凍層的。泵內的原因有：①泵油爆沸或沸騰不穩定；②在導流管外部油的沸騰；③輕氣體的低壓縮比；④噴咀內的液滴；⑤頂噴咀變冷（蒸汽冷凝）；⑥鍋爐附近泄漏，泵體要檢漏。
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